Secondary Ion Mass Spectrometers

Teknik SIMS memberikan kombinasi unik dari sensitivitas yang sangat tinggi untuk semua elemen dari Hidrogen hingga Uranium dan di atasnya (batas deteksi hingga tingkat ppb untuk banyak elemen), pencitraan resolusi lateral tinggi (hingga 40 nm), dan latar belakang yang sangat rendah yang memungkinkan rentang dinamis tinggi (lebih dari 5 dekade).